Значения слова Фотолитография. Что такое Фотолитография?

Слово состоит из 14 букв: первая ф, вторая о, третья т, четвёртая о, пятая л, шестая и, седьмая т, восьмая о, девятая г, десятая р, одиннадцатая а, двенадцатая ф, тринадцатая и, последняя я,

Слово фотолитография английскими буквами (транслитом) - fotolitografiya

Правильное написание и ударение в слове ФОТОЛИТОГРАФИЯ

Фотолитогра́фия, -и.

Орфографический словарь. — 2004

Разбор слова ФОТОЛИТОГРАФИЯ по составу (морфемный разбор)

Фото/лит/о/гра́ф/и/я [й/а].

Морфемно-орфографический словарь. — 2002

Фотолитография

ФОТОЛИТОГРАФИЯ, способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Фотолитография обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки…

Химическая энциклопедия

Фотолитогра́фия — метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии. Один из основных приёмов планарной технологии, используемой в производстве полупроводниковых приборов.

ru.wikipedia.org

ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки…

Химическая энциклопедия. - 1988

Фотолитография в глубоком ультрафиолете

Фотолитография в глубоком ультрафиолете (Extreme ultraviolet lithography, EUV, EUVL — экстремальная ультрафиолетовая литография) — вид фотолитографии в наноэлектронике. Считается одним из вариантов фотолитография следующего поколения (англ.).

ru.wikipedia.org

Интегральная схема

Интегра́льная (микро)схе́ма (ИС, ИМС, м/сх, англ. integrated circuit, IC, microcircuit), чип, микрочи́п (англ. microchip, silicon chip, chip — тонкая пластинка — первоначально термин относился к пластинке кристалла микросхемы)...Технологический процесс При изготовлении микросхем используется метод фотолитографии (проекционной, контактной и др.), при этом схему формируют на подложке (обычно из кремния), полученной...

ru.wikipedia.org

ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА - твердотельное устройство, содержащее группу приборов и их соединения (связи), выполненное на единой пластине (подложке). В И. с. интегрируются пассивные элементы (ёмкости, сопротивления) и активные элементы…...коротковолновая="коротковолновая">фотолитография, рентгенолитографии, электронная и ионная микролитография. <кроме ширины="ширины" линии="линии" существенна="существенна" максимально...

Физическая энциклопедия. - 1988

Интегра́льная схе́ма (ИС, интегральная микросхема), микроэлектронное устройство, содержащее большое число объединённых конструктивно и электрически связанных между собой транзисторов, полупроводниковых диодов, конденсаторов, резисторов и др.Такие области создаются локальным введением в рабочий слой примесей через маску (трафарет), обычно из оксида кремния (SiО₂), формируемую при помощи фотолитографии.

Энциклопедия техники

Литография

Литография Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно-силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия…...светового излучения (фотолитография), рентгеновского излучения (рентгенолитография), потока электронов/ионов (электронно-лучевая/ионно-лучевая), а также непосредственно методами...

Энциклопедический словарь нанотехнологий. - 2010

Литография (от лито… и …графия), способ печати, при котором оттиски получаются переносом краски под давлением с плоской (нерельефной) печатной формы непосредственно на бумагу; произведение, выполненное литографским способом; предприятие…В дальнейшем появились аналоги, модификации Л.: автолитография, хромолитография, фотолитография, олеография, литогравюра, альграфия и др.

Большая советская энциклопедия (БСЭ). — 1969—1978

Литография, состоит в писании, черчении и рисовании на камне иглою или особыми чернилами или карандашом и воспроизведении на бумаге сделан. рисунков или чертежей.Широкое применение в Л. получило и фотографирование (фотолитография). Л. изобретена 1796 А. Зенефельдером в Мюнхене. Худож. литография ранее всего достигла апогея развития во Франции...

Брокгауз и Ефрон. — 1907—1909

Микроэлектроника

Микроэлектроника, область электроники, занимающаяся созданием электронных функциональных узлов, блоков и устройств в микроминиатюрном интегральном исполнении....этапов технологического процесса наиболее ответственным является фотолитография.

Большая советская энциклопедия (БСЭ). — 1969—1978

Микроэлектро́ника (интегральная электроника), область электроники, связанная с созданием и применением в радиоэлектронной аппаратуре узлов и блоков, выполненных на интегральных схемах и микроминиатюрных вспомогательных изделиях…Используются фотолитография в видимой и ультрафиолетовой областях спектра, рентгенолитография и электронно-лучевая литография. Эти методы дают возможность довести расстояние между...

Энциклопедия техники

МИКРОЭЛЕКТРОНИКА — область электроники, охватывающая проблемы создания электронных устройств в микроминиатюрном интегральном исполнении. В М. используются различные св-ва тв. тела, особенно полупроводников, для создания функциональных блоков и узлов…...технология (см. ЭПИТАКСИЯ), фотолитография, ионное внедрение, окисление, нанесение металлич. плёнок и т. д. Приборы вакуумной М. выполняются либо в виде плёночных интегральных схем с...

Физическая энциклопедия. - 1988

Планарная технология

ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ (от англ. planar-плоский), совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структур только с одной стороны пластины (подложки), вырезанной из монокристалла.T. обр., осн. особенность планарной технологии-повторяемость однотипных операций; типовой набор операций (окисление, фотолитография и легирование), чередуясь, повторяется неск. раз.

Химическая энциклопедия

Планарная технология, планарный процесс (англ. planar, от лат. planus — плоский, ровный), первоначально — совокупность технологических операций, проводимых для получения полупроводниковых (ПП) приборов с электронно-дырочными переходами…...диэлектрической плёнки, помимо обычной оптической фотолитографии, применяется обработка электронным лучом (т. н...

Большая советская энциклопедия (БСЭ). — 1969—1978

ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ (от англ. planar - плоский) - высокопроизводительный метод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем....способом фотолитографии или электронолитографии определенных участков этой пленки; введение в кристалл через незащищенные пленкой участки донорных или акцепторных примесей (легирование).

Большой энциклопедический словарь

Фотография

Фотогра́фия (фр. photographie от др.-греч. φως / φωτος — свет и γραφω — пишу; светопись — техника рисования светом) — получение и сохранение изображения при помощи светочувствительного материала или светочувствительной матрицы в фотокамере.Фотолитография и близкие к ней технологические процессы Именно фотография и смежные с ней процессы позволили развиться электронной промышленности, сделали нынешний мир полупроводниковым и...

ru.wikipedia.org

ФОТОГРАФИЯ -совокупность методов получения стабильных во времени изображений предметов на свето-чувствит. слоях (СЧС) путём закрепления фотохим. или фотофиз. изменений, возникающих в СЧС под действием излучения, испускаемого или отражаемого объектом.Ещё одна новая область Ф.- фотолитография, возникшая в связи с развитием микроэлектроники. Для защиты полупроводниковой базы от травления, напыления и иных видов формирования рисунков...

Физическая энциклопедия. - 1988

Фотография (от фото… и …графия), совокупность методов получения стабильных во времени изображений предметов и оптических сигналов на светочувствительных слоях (СЧС) путём закрепления фотохимических или фотофизических изменений…Джакония В. Е., Запись телевизионных изображений, Л., 1973; Фотолитография и оптика, М. – Берлин, 1974; Дубовик А. С., Фотографическая регистрация быстропротекающих процессов, 2 изд., М...

Большая советская энциклопедия (БСЭ). — 1969—1978

Фоторезист

Фоторезист (от фото… и англ. resist – сопротивляться, препятствовать), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой.См. также Фотолитография. Лит.: Фотолитография и оптика, М. – Берлин, 1974; Мазель Е. З., Пресс Ф. П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.

Большая советская энциклопедия (БСЭ). — 1969—1978

Фоторезист (от фото и англ. resist) — полимерный светочувствительный материал. Наносится на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получить соответствующее фотошаблону расположение окон для доступа травящих...

ru.wikipedia.org

ФОТОРЕЗИСТЫ, светочувствит. материалы, применяемые в фотолитографии для формирования рельефного покрытия заданной конфигурации и защиты нижележащей пов-сти от воздействия травителей..

Химическая энциклопедия

Электронный микроскоп

Электронная микроскопия, совокупность методов исследования с помощью электронных микроскопов (МЭ) микроструктуры тел (вплоть до атомно-молекулярного уровня)…...микросхем методом фотолитографии). Лит.: Хокс П., Электронная оптика и электронная микроскопия, пер. с англ., М., 1974; Стоянова И. Г., Анаскин И. Ф., Физические основы методов...

Большая советская энциклопедия (БСЭ). — 1969—1978